CF自动搬运系统 

　　CF设备主要用于6代线彩色滤光片基板的搬运。结构设计精确，技术先进，设备配置精细，可靠性高，控制系统具有精度高，可靠性好和快速反应的特点。主要包含自动物料搬运系统、卡匣、机器人和传送带系统。

Ø自动物料搬运系统、卡闸

在CF工程中，自动物料搬送系统负责搬送、保管各工程间卡匣。此系统是由BUF、CRANE、OHCV、Cassette Storage、BUF控制器、MGV小车所构成。按照CIM的指示，自动搬送卡匣。

卡匣主要用于6代线彩色滤光片的玻璃收纳与排出。

Ø机器人和传送带系统

机器人和传动带系统，是将玻璃基板从卡匣到生产设备或者从生产设备到卡匣进行搬运的系统